第362章 光刻机的事，是时候提上日程了，前往光电技术研究所！
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  从“1nm光刻机”这个根节点开始，分出三个粗壮的分支：极紫外光源、超高精度物镜系统、纳米级工件台。
  每个分支下面又分出密密麻麻的子节点，有的標註了“已解决”，有的標註了“部分解决”，还有的標註了“待攻克”。
  “光刻机这玩意儿，说白了就是三个核心子系统。”
  江辰指著那张图，“光源，负责產生极紫外光，把电路图案『刻』到晶圆上。”
  “物镜系统，负责把掩模版上的图案缩小、聚焦、投射到晶圆表面，精度要求是亚纳米级別的。”
  “工件台，负责承载晶圆在曝光过程中做纳米级的精密运动。”
  “这三个东西，任何一个拎出来，都是工业皇冠上的明珠。”
  “全世界能独立搞定其中任何一个的国家，一只手数得过来。”
  “能同时搞定三个的，一个都没有……包括灯塔国。”
  他顿了顿，“但我们有。”
  唐若曦看著那张密密麻麻的树状图。
  她知道，这人一旦认真起来，就说明他已经有了至少七八成的把握，只是还没开始动手罢了。
  “光源部分。”
  江辰指著第一个分支，“极紫外光本质上是个高能物理问题……用高功率雷射轰击锡滴，產生等离子体，激发出13.5纳米波长的极紫外光。”
  “这玩意儿难在两个地方。”