第363章 光源，工作檯，物镜系统都搞定，明年春季可出原型机？
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  “自己画的？？？”
  刘工忍不住了，“江院士，我搞了二十年高功率雷射器，这张图里的泵浦方式、增益介质的选择、光学谐振腔的设计......”
  “我从来没见过这种方案！但凭我的经验，这个方案在理论上是完全可行的！而且效率比我们目前用的方案高了至少一个数量级！”
  江辰点头，“对，这是我专门为光刻机光源优化的方案。”
  “核心参数我都算过了，理论效率是目前主流方案的八到十倍。”
  “如果实现，极紫外光源的输出功率可以突破千瓦级。”
  “千瓦级？？？”
  曹所长差点从椅子上弹起来，“目前全球最先进的极紫外光源，输出功率也就几百瓦！千瓦级……那光刻效率能提升多少？”
  “至少一个数量级。”
  江辰顿了顿，“如果光源功率达到千瓦级，再配合高灵敏度的光刻胶，1nm製程的產率可以做到跟当前主流製程相当。”
  “也就是说，1nm晶片的量產成本，不会比成熟製程高太多。”
  曹所长瘫在椅子上，两眼放空，嘴里喃喃自语：“1nm製程量產，成本可控......这要是做成了，东大晶片產业，至少提速十年......”
  江辰合上笔记本，“三位主任，我需要光电所帮个忙。”
  “光源的原型机，我提供全套设计方案和技术参数，你们负责加工、装配、测试。”
  “物镜系统的镀膜和装配，也需要你们这边的超精密加工设备。”